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  • 单晶炉冷却水循环系统

  • 单晶炉冷却水循环系统
  • 发布时间: 2025-06-10
    有 效 期:  
    发货地址: 广东省 深圳市  
    产品规格: KSD-DJLLQ
    所属行业: 机械 制冷设备 冷水机  
    包装说明: 木箱
    产品数量: 100.00 
    价格说明:   价格:¥60000.00 元/台 起
    在线留言
  • 产品规格KSD-DJLLQ包装说明木箱

    单晶炉冷却水循环系统是一单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化。用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉对温度又有及其严格的温度要求。例如:炉体加工温度,如果炉体温度得不到有效的控制,炉体因温度过高会产生形变。势必影响设备尺寸变化,造成不合格产品的出现;同时炉体材料长期高温工作,冷热不均会降低炉体寿命,造成损失。

    这就需要专业稳定的冷却水系统,来满足单晶炉的降温冷却需求,才能维持炉体设备正常工作,不至于发生因炉体设备温度过高,造成设备变形,影响硅晶体的生长。

    单晶炉冷却水循环系统制冷方案中包括两大控制系统,即工艺冷却水控制系统和冷媒控制系统。

    工艺冷却水控制系统可为单晶炉炉体及加热电极、真空泵降温冷却,由冷水机组、工艺水池、冷却水泵、冷却管路及热交换器组成。

    单晶炉冷却水循环系统温度范围可降低到20-25度,机组将冷却水从循环水泵输送到工艺冷却水池,再由水泵输送进冷却通路为炉体发热部件循环降温,可实现不同负荷下的制冷模式,较大化稳定3

    单晶炉冷却水循环系统在冷媒控制系统中,冷水机内部气态冷媒由压缩机压缩,进入冷凝器液化,再由膨胀阀装置变成低温气液混相,在蒸发器内,实现与工艺冷却水系统热交换器换热,达到工艺水池的需求温度。冷媒控制系统中,因单晶炉工艺水池特殊水质要求,采用全不锈钢蒸发器要求,避免因水质问题污染工艺水池的冷却水,给单晶炉冷却造成不利影响。

    单晶炉冷却水循环系统在整个冷却水系统设计中,冷水机组电控系统使用德国西门子PC/PLC可编程控制器,由人机界面触摸操作,实时观察系统运行的参数,并且可简单直观输入各种初始参数,例如工艺冷却温度上下限报警值、水位上限限值、出水温度上下限值、冷却水压力上下限值等。

    值得一提的是,因单晶炉对水质、水压及流速的特殊要求,方案中采用50M高扬程水泵,保证稳定充足的冷却水供应工艺冷却水系统.

    避免冷却水供应不及时造成炉体加热器跳闸、中止单晶炉正常运转,而造成劣等晶体的产生,炉体内部因冷却不到位发生形变等危害人身及设备安全。

    单晶炉冷却水循环系统特点

    循环水箱:储冷水箱通过制冷水泵及管道与循环水箱相连。循环水箱由不锈钢制成,它由温度传感器、液位传器等组成。循环水箱通过温度传感器探测内部的变化,上传至温度控制器,由温度控制器通过变频器控 制制冷水泵流量的大小,来控制循环水箱的温度。

    控温系统:控温系统用于各个温度控制点的温度,控温系统采用PT100铠装温度传感器进行温度数据采集,并采用PLC控制器作为温度控制器,

    单晶炉冷却水循环系统控制器: 控制器用于状态感知、设置运行参数、开停、控制联动、控制辅助设备等功能,包括液位传感器。由控制器实现两种工作模式的切换。

    系统稳定可靠:核心部件选用国际,可靠性高、噪音低,24小时连续运转设计。

    先进控制技术:采用微电脑版控制器,实现全自动智能化控制,系统水温,水流,故障信号报警直接显示,多种精度可以选择±0.5℃等)

    单晶炉冷却水循环系统多重安全防护:超温保护 、电流保护、水流报警、水位报警、压力报警、缺项保护、逆相保护、电机过载等。

    电脑触摸式控制,操作简单易懂。

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    日本进口微电脑双组P.I.D温度控制表,触摸式内储、自动演算,省电35%以上。

    安全保护及故障指示系统完善。

    进口##组件,使用年限长。

    单晶炉冷却水循环系统升降温速度快,温度精确稳定。

    *特的双功率加热设计,适合不同温控场所使用,节能效果明显。 

    不锈钢一体成型,管损小,加热均匀。

    开机自动排气功能。

    模具回水温度检测表。 

    可接受客户非标制作,仪器尺寸、流量、温控精度,压力等,可选配RS485(CAN或以太网)通讯接口并提供通讯协议

       单晶炉冷却水循环系统不仅可应用在单晶炉上面降温使用,还可应用在烧结炉、结晶炉、铸锭炉等不同生产设备的降温冷却,可提供大、中小制冷工程解决方案,非标定制工业及科研使用的冷水机组,广泛应用在半导体、化工、新能源、制药、微电子等多个行业领域,用*的技术和售后服务每一位客户。

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