发布时间: | 2024-05-20 |
有 效 期: | |
发货地址: | 广东省 深圳市 |
产品规格: | KSD-JYQX |
所属行业: | 机械 清洗/清理设备 超声波清洗机 |
包装说明: | 木箱 |
产品数量: | 100.00 |
价格说明: | 价格:¥350000.00 元/台 起 |
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全自动晶圆去胶清洗机适用于硅片晶圆湿法清洗、湿法刻蚀、显影、去胶、LIFT-OFF等工艺;
标准吸盘适用于2-12英寸晶圆,其它规格可定制;
一体式清洗腔体;
进口伺服电机控制,转速及工艺时间参数可自由设定;
采用进口**旋转电机,运行安静平稳,故障率低;
全自动晶圆去胶清洗机真空吸盘采用PEEK+PTFE材质,强度高、耐腐蚀、密封性能好;
载片台采用真空吸附+PIN定位,防止甩片碎片;真空度≤-100KPa;
化学液及纯水自动供应,可视可调;
可装配装取片机器人;
全自动晶圆去胶清洗机配套液供应系统;
配有兆声清洗,兆声频率280-950KHz可选,功率连续可调;
可配置滚刷刷洗;
较高转速可达3500RPM+;
工艺参数可设定存储;
全自动晶圆去胶清洗机主要优点及应用
增加化胶区多片化胶功能,立式摆放,同时可放多片绷膜环进行化胶,提高清洗效率增加加液及回收桶,方便加液及集中处理废液,并且翘曲,厚度可以测量
化胶溶液循环净化过滤系统,减少排放,提高重用率,降
全自动晶圆去胶清洗机全包围安全护罩,保护操作人员不被机械部件碰撞
采用伺服电机驱动,可精准定位
产品夹爪,齿轮齿条运动,可兼容8~12吋片环,不用频繁更换料爪
放置到化胶浸泡区浸泡15-20S,可垂直放置5件
清洁毛刷共8个,前后两组,上下,左右清洗,*无死角