超声波清洗设备、纯水设备、工业冷水机、喷淋清洗设备、电镀设备、全自动清洗设备、电镀设备、整流器、烘干设备、烤箱

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  • 芯片用氮气烤箱

  • 芯片用氮气烤箱
  • 发布时间: 2025-06-10
    有 效 期:  
    发货地址: 广东省 深圳市  
    产品规格: KSD-XPKX
    所属行业: 机械 铸造及热处理设备 工业烤箱  
    包装说明: 木箱
    产品数量: 100.00 
    价格说明:   价格:¥20000.00 元/台 起
    在线留言
  • 产品规格KSD-XPKX包装说明木箱

    芯片用氮气烤箱是一种新型工业级干燥设备,采用长轴耐高温大功率轴流风机,不锈钢涡轮扇叶,结合*特设计风道,智能PID温控器结合SSR固态继电器控制高效不锈钢发热器加热,形成温度均匀的高温热风,对箱体内部进行加热,确保烘箱内部达到理想的温度环境。

    芯片用氮气烤箱用途

    产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤,LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。

    详细参数;

    芯片用氮气烤箱箱体结构

    内部材质:采用SUS304#日制800番1.5mm厚之镜面不锈钢板,满焊处理,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE。

    外部材质:外部采用1.2mm厚优质冷轧钢板经防锈处理后喷塑,耐刮伤,造型美观。

    保温材质:采用100K高级保温棉,六面保温断热,保温厚度为80mm-120mm,保温性能好。

    芯片用氮气烤箱箱门结构:箱门于箱体结合处采用耐高温硅橡胶条密封迫紧,保温性能好,抗老化,环保无污染。

    载物层架:可根据物品大小调节层间距,空间利用率高。

    温度控制系统:采用日本三菱PLC+7寸彩色触摸屏人机交互界面,定值/程序(程控100段)两种控制模式,带传感器断线报警功能,带超温警报保护功能,确保产品运行安全。


    芯片用氮气烤箱控温方式

    讯号来源:采日制进口CA感应棒±0.5%。

    输出被控组件:SSR固态无节点输出,确保加热功率精准。

    箱内热风循环系统

    芯片用氮气烤箱送风方式:箱内采用单向水平运风,两侧风道内强压送风。

    风道结构:风道两侧采用高密度冲孔风板,精准控制导流板角度,确保箱内温度均匀性。

    送风装置:采用大功率三相异步耐高温型长轴静音马达+大口径不锈钢涡轮扇叶,涡轮经水平纠正处理,确保运风平稳 ,噪声≤65dB。

    芯片用氮气烤箱送风装置安全保护系统:带超温过载过流保护功能,确保马达及风机的使用寿命和安全性能。

    电加热系统:采用覆套式不锈钢无尘化电热发生器,洁净不产尘(无缝洁净不锈钢覆套,高绝缘导热改性氧化镁浇筑,无名火,安全不漏电)

    芯片用氮气烤箱氧含量控制系统

    氮气排氧控制系统采用双路氮气导入回路,各向箱内提供100L/min + 200L/min的氮气,每路配套进口电磁阀,双自动切换,在箱内达到无氧环境后,自动切换至低氮气,大大节省氮气消耗量,也可根据工艺制程要求,自行设定,满足多种工艺需求。

    排氧时间≤30 min,带耐高温氧含量控制仪,氧化锆氧含量传感器,耐高温自吸泵一套,可实时检测氧含量并显示实际数值,配备氧含量超标报警功能。

    芯片用氮气烤箱整机安全保护系统

    采用三重超温保护系统,确保箱体在运行过程中的整体安全性能(详见技术参数)。

    箱体内部电器保护系统(确保箱体内部电器运行平稳,安全可靠):

    超温防止器(独立限温,超温断电);

    相序保护(欠压欠相保护);

    马达过电流保护;

    控制线路保险丝;

    芯片用氮气烤箱电热过电流保护;

    无熔丝开关。

    选配组件:

    程序多段控温:可配置程序型温度控制器,较大实现100段程序控温。

    测试孔:可在侧面加装Φ50mm测试孔。

    无纸多点温度记录仪:可配置无纸多点温度记录仪(4/6/9/12通道),可实时监控温度变化.

    快速降温功能:风冷+水冷。

    可加装MES系统。

    芯片用氮气烤箱箱体结构尺寸

    内尺寸:800(宽)×600(深)×1000(高)mm;(可定制)

    外尺寸约:1400(宽)×820(深)×1800(高)mm含脚轮,以实物为标准;

    控制在板:控制器位于机台上方(如图);

    芯片用氮气烤箱开门方式:单箱单门对开;

    可窗口:门上无可窗口;

    内材质为:304#不锈钢,砂面板,厚1.2mm;

    外材质为:冷轧钢板, 厚1.2mm,粉体烤漆处理;

    芯片用氮气烤箱隔层:内箱分为四层,底起80mm**层,以上平分,配网板四块;

    保温材质为:耐高温玻璃纤维岩棉,保温效果好;

    门口密封材质为:耐高温硅胶条;

    底部安装活动脚轮及四个固定脚杯,可任意推动,固定位置.

    芯片用氮气烤箱温控系统

    温度控制器为7寸触摸屏+PLC控制(威硕),定值或程序运行控制温度可选择使用,可自动演算,PV/SV同时显示,点触设定(如图)

    定时功能:内置定时功能,温到计时,时间到停止加热,同时报警提示;

    数据端口:USB端口下载历史数据,数据模式为Excel文文件模式,计算机连接端口RS232接口;

    芯片用氮气烤箱曲线:触摸屏表上可查看运行时的温度曲线;

    温传感器:PT100高温型;

    控制输出信号:为3-32V;

    加热控制为:固态继电器SSR无接点;

    加热组件为:耐高温加热管;温度范围:RT+25~200℃温度可调;

    芯片用氮气烤箱升温速率:200℃约35分钟;

    控制精度:±0.5℃(恒定状态);

    12、显示精度:0.1℃;                                    

    温度偏差:±3.0℃(空载恒定状态)


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